[实用新型]一种金刚石镀膜刀具装置

摘要

本实用新型公开了一种金刚石镀膜刀具装置。它由等离子反应腔，直流稳流电源，质量流量计，高真空泵，联轴器组成，其特征在于高真空阀分别与等离子反应腔、高真空泵连接，进气阀分别与等离子反应腔、质量流量计连接，电极杆分别与等离子反应腔中的弧光放电电极的正负极和直流稳流电源的正、负电极连接。该装置结构简单、操作方便、性能稳定，实现了金刚石镀膜刀具批量生产，金刚石膜与刀具基体的粘结度达到5－6kg/mm2。

主权项

1.一种金刚石镀膜刀具装置，它由等离子反应腔(1)、直流稳流电源(13)、高真空泵(3)、联轴器(26)组成，其特征在于高真空阀(6)分别与等离子反应腔(1)、高真空泵(2)连接，进气阀(10)分别与等离子反应腔(1)、质量流量计(11)连接，电极杆(14)、(15)分别与等离子反应腔(1)中的弧光电极的正负极(20-1)、(20-2)，(21-1)、(21-2)和直流稳流电源(13)的正负电极连接。