[实用新型]薄膜小型空心管式固体电解质CO2传感器无效
| 申请号： | 02281255.5 | 申请日： | 2002-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN2580440Y | 公开（公告）日： | 2003-10-15 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张景林 |
| 地址： | 130023 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型属于气体敏感元器件领域，涉及一种薄膜小型空心管式固体电解质CO2传感器。由Al2O3空心管式衬底(1)、NASICON薄膜(4)、网状Au电极(3)、信号Pt电极(6)、二元碳酸盐BaCO3－Li2CO3辅助电极(5)、环形加热丝(2)组成，环形加热丝内置于Al2O3空心管中。本实用新型把Al2O3管式衬底引入到固体电解质传感器的制作中，利用NASICON的原溶胶溶液采用反复提拉法在管式衬底上制备出一层NASICON薄膜，再依次制备出网状金电极、信号铂(Pt)电极、二元碳酸盐BaCO3－Li2CO3辅助电极。该传感器具有制作简单、加热效果好、功耗低、体积小等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 小型 空心 固体 电解质 co2 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种薄膜小型空心管式固体电解质CO2传感器，由NASICON薄膜(4)、网状Au电极(3)、信号Pt电极(6)、二元碳酸盐BaCO3-Li2CO3辅助电极(5)、环形加热丝(2)组成，其特征在于：传感器还包括有Al2O3空心管式衬底(1)，NASICON薄膜(4)、网状Au电极(3)、信号Pt电极(6)、二元碳酸盐BaCO3-Li2CO3辅助电极(5)依次在Al2O3空心管式衬底(1)上制作，环形加热丝(2)内置于Al2O3空心管式衬底(1)中，Al2O3空心管式衬底尺寸为φ1.0～1.5mm×3.5～4.5mm，管壁厚为0.2～0.3mm，内置加热丝的尺寸为φ0.9～1.4mm×3.5～4.5mm，加热丝直径为0.15～0.25mm。
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