[实用新型]金属披覆板的电浆蚀刻进度监测结构无效
| 申请号： | 02287417.8 | 申请日： | 2002-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN2579914Y | 公开（公告）日： | 2003-10-15 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | C25F3/02 | 分类号： | C25F3/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型是有关于一种金属披覆板的电浆蚀刻进度监测结构，该金属披覆板是由一金属层以及一树脂层相互贴附而成，其中，该监测结构是为在该金属层形成的至少一镂空部位，沿该镂空部位的一边缘向对边延伸若干指示条，该等指示条是与该对边相距预定距离，且该等指示条的宽度是呈等差级数渐宽，各指示条间是相隔预定距离；由此，在进行电浆蚀刻时，最窄的指示条底部的树脂层会最先被完全蚀刻而使该最窄的指示条弯曲，随着蚀刻的继续进行，该等指示条会依序由窄至宽逐一弯曲，以指示该位置的蚀刻状态。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 披覆板 蚀刻 进度 监测 结构 | ||
【主权项】：
1.一种金属披覆板的电浆蚀刻进度监测结构，该金属披覆板是由一金属层以及一树脂层相互贴附而成，其特征在于，其中，该监测结构是为在该金属层形成的至少一镂空部位，沿该镂空部位的一边缘向对边延伸若干指示条，该等指示条是与该对边相距预定距离，且该等指示条的宽度是呈等差级数渐宽，各指示条间是相隔预定距离。
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