[实用新型]电可调光衰减器

摘要

一种电可调光衰减器，属微电子机械和光通讯器件技术领域，重掺杂硅衬底6、二氧化硅支臂5、氮化硅薄膜4、钛铂金电极3和18、空腔8构成电可调光衰减器芯片12，氮化硅薄膜4构成悬浮在空腔8上方的可动的光学窗口反射膜9，输入输出单模双光纤1和10通过粘合剂11与准直透镜2相接后固定于电可调衰减器芯片12的上方。单色光从输入输出单模双光纤1输入，当加在钛铂金电极3和18的电压从0伏连续增加至24伏时，从输入输出单模双光纤18输出的反射光将从3db连续衰减至30db。有响应时间短，体积小，易于制造，生产成本低和驱动电压低的优点。

主权项

1.一种电可调光衰减器，其特征在于，包括输入输出单模双光纤(1)和(10)、准直透镜(2)、钛铂金电极(3)和(18)、氮化硅薄膜(4)、二氧化硅支臂(5)、重掺杂硅衬底(6)、空腔腐蚀孔(7)、空腔(8)、光学窗口反射膜(9)、粘合剂(11)、石英基座(13)、引出电极(14)、固定套(15)、外壳(16)、石英管套(17)，重掺杂硅衬底(6)上沉积有二氧化硅支臂(5)，二氧化硅支臂(5)的中央是空腔(8)，空腔(8)上方的氮化硅薄膜(4)构成光学窗口反射膜(9)，光学窗口反射膜(9)外围有钛铂金电极(3)，光学窗口反射膜(9)和钛铂金电极(3)构成悬浮在空腔(8)上方的可动膜，钛铂金电极(3)和氮化硅薄膜(4)上有均匀分布的空腔腐蚀孔(7)，钛铂金电极(18)和重掺杂硅衬底(6)有电气连接，重掺杂硅衬底(6)、二氧化硅支臂(5)、氮化硅薄膜(4)、钛铂金电极(3)和(18)、空腔(8)和空腔腐蚀孔(7)构成电可调光衰减器芯片(12)，电可调光衰减器芯片(12)粘结在石英基座(13)上，两根引出电极(14)分别与钛铂金电极(3)和钛铂金电极(18)成电气连接，输入输出单模双光纤(1)和(10)通过粘合剂(11)与准直透镜(2)相接后，封装在石英管套(17)内，石英管套(17)及其内的准直透镜(2)、输入输出单模双光纤(1)和(10)与石英基座(13)及其上的电可调光衰减器芯片(12)、引出电极(14)通过固定套(15)一体化封装在外壳(16)内。