[实用新型]一种光学焦平面补偿机构无效
| 申请号： | 02288905.1 | 申请日： | 2002-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN2586974Y | 公开（公告）日： | 2003-11-19 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G02B21/32 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘秀娟,卢纪 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种光学焦平面补偿机构，为一盘形的机械框架结构，在框架结构中，以显微物镜基线长度为直径的圆周上，分布着不同规格的光程补偿器，对径位置上的一对补偿器规格相同，其中一对的补偿量为零。本实用新型用于底面对准的双面光刻机的对准系统上，通过改变显微镜物镜和对准标记之间一定厚度的光学介质来改变物镜的前工作距，实现掩摸上的标记与样片底面上标记的对准，在调焦过程中，摆动和侧向位移小，调焦判读客观准确，操作方便，结构简单、小巧，成本低。本实用新型也可用在非接触式的测量等其他领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 平面 补偿 机构 | ||
【主权项】：
1、一种光学焦平面补偿机构，其特征在于：它为一盘形的机械框架结构，在框架结构中，以显微物镜基线长度为直径的圆周上，分布着不同规格的光程补偿器，对径位置上的一对补偿器规格相同，其中一对的补偿量为零。
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