[实用新型]有机发光组件的沉积设备无效
| 申请号： | 02292824.3 | 申请日： | 2002-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN2587883Y | 公开（公告）日： | 2003-11-26 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陈肖梅,文琦 |
| 地址： | 台湾省新竹县 湖*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种有机发光组件(organiclightemittingdevice；OLED)的沉积设备，该设备具有一基板传输系统以及至少一腔体，其特征在于该基板传输系统为一圆形转盘状，该些腔体以一特定的顺序围绕在该基板传输系统的周围，利用该基板传输系统依一圆周方向转动，传送至少一基板至该些腔体内进行沉积，以形成至少一镀膜于该些基板之上，以制作至少一有机发光组件。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 发光 组件 沉积 设备 | ||
【主权项】：
1.一种有机发光组件的沉积设备，包含一基板传输系统以及至少一腔体，其特征在于，该基板传输系统为一圆形转盘状，该些腔体围绕在该基板传输系统的周围，该基板传输系统依一圆周方向转动，将复数个基板同步传送至该些腔体内，用以制作出至少一有机发光组件。
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