[实用新型]采用涡流加热靶材的共蒸发制备薄膜的装置

摘要

本实用新型涉及采用涡流加热靶材的共蒸发制备薄膜的装置。该装置在真空镀膜设备中至少安装一套由靶悬浮管、中空水冷管制作的感应线圈和副感应线圈、感应电源和副感应电源作成的涡流加热器；其中感应线圈和副感应线圈均匀的缠绕在靶悬浮管外壁上部和下部，相邻二匝保持绝缘，感应线圈与电源电连接；感应电源分别与计算机电连接。本实用新型实现蒸积材料悬浮不与容器相接触，避免了舟蒸发对薄膜的污染。所获得的123相的YBa2Cu3O7－δ超导薄膜，厚度为200－2000nm，零电阻温度89－91K.。Jc为2－4MA/cm2。测量表明薄膜为高质量超导薄膜。

主权项

1.一种采用涡流加热靶材的共蒸发制备薄膜的装置，包括：带有石英窗口的真空室、和安装在真空室外两侧与真空室连通的真空机组，真空室内上方安装基片加热器、档板和光栏；高压气瓶通过真空室壁上的针阀与真空室连通；控制计算机与控制电源和基片加热器电连接；以及带有红外测温仪；其特征在于：还包括至少一套由安装在真空室内的一靶悬浮管、中空水冷管制作的感应线圈和副感应线圈、感应电源和副感应电源作成的涡流加热器；其中感应线圈和副感应线圈均匀缠绕在靶悬浮管外壁的上部和下部，相邻二匝保持绝缘，感应线圈、副感应电源两端引线分别连接于真空室外的感应电源和副感应电源输出端之上；感应电源分别与计算机电连接；基片加热器位于真空室的下部，蒸积靶材放置于靶悬浮管之中，基片和靶悬浮管口之间还放置了挡板和光栏。