[实用新型]利用电流直接加热靶材蒸发制备大面积薄膜的装置无效
| 申请号： | 02293462.6 | 申请日： | 2002-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN2585869Y | 公开（公告）日： | 2003-11-12 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王凤华 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及利用电流直接加热靶材蒸发制备大面积薄膜的装置，该装置在已有的镀膜设备中安装至少一套蒸发靶组件：该蒸发靶组件由一设置在基片加热器下方的支撑架，其上固定一对蒸积出来的靶材进行导流作用的靶管，该支撑架固定在真空室内壁上；真空室底座上设置一水冷电极固定架，水冷管缠绕在水冷电极固定架上，水冷管两端引出真空室外与水冷系统连通；用金属靶材制成的板状加热片，它同时又是蒸发靶安装在和水冷电极上，该板状加热片安装位置与靶管垂直相对；一导电材料制作的水冷电极固定架，它并与加热电源连接，控制计算机与加热电源、测温仪电源连接。该装置结构简单，易于加工，使用方便；制的薄膜面积大，不易污染、性能优良。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 电流 直接 加热 蒸发 制备 大面积 薄膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种利用电流直接加热靶材蒸发制备大面积薄膜的装置，包括：带有石英窗口的真空室、红外测温仪、和安装在真空室外两侧与真空室连通的真空机组，和水冷系统；真空室内上方安装基片加热器、档板和光栏；高压气瓶通过真空室壁上的针阀与真空室连通；控制计算机与控温电源和基片加热器电连接；其特征在于：还包括至少一套蒸发靶组件：该蒸发靶组件由一设置在基片加热器下方的支撑架，其上固定一对蒸积出来的靶材进行导流作用的靶管，该支撑架固定在真空室内壁上；真空室底座上设置一水冷电极固定架，水冷管缠绕在水冷电极固定架上，水冷管两端引出真空室外与水冷系统连通；用金属靶材制成的板状加热片，它同时又是蒸发靶安装在和水冷电极上，该板状加热片安装位置与靶管垂直相对；一导电材料制作的水冷电极固定架，它并与加热电源连接，控制计算机与加热电源、测温仪电源连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于，未经许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02293462.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：卫生间用空调器
- 下一篇：采用涡流加热靶材的共蒸发制备薄膜的装置
- 同类专利
- 专利分类
