[实用新型]掠入射软X射线和极紫外线平场谱仪无效
| 申请号： | 02294156.8 | 申请日： | 2002-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN2608962Y | 公开（公告）日： | 2004-03-31 |
| 发明（设计）人： | 张杰;陈正林;彭晓昱 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01J3/18 | 分类号： | G01J3/18;G01J3/28 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王凤华 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种掠入射软X射线和极紫外线平场谱仪，该谱仪主要由光学系统、真空系统、图像采集系统、支撑系统等组成；光学系统主要由超环面镜、狭缝、平场光栅等组成。该谱仪灵敏度高，摄谱范围大，图像采集系统中使用CCD相机，可实现空间分辨光谱的实时采集；该谱仪中各光学元件都安装在相应的精密调节装置上，稳定性好，结构紧凑，精度高，调节方便，操作简单、高效；该谱仪各部件之间耦合精度高，工作稳定可靠；整个谱仪通过模拟光源进行调节，调节方法简单，使用方便；该谱仪可广泛用于热等离子体的无干扰诊断。 | ||
| 搜索关键词： | 入射 射线 紫外线 平场谱仪 | ||
【主权项】：
1、一种掠入射软X射线和极紫外线平场谱仪，该谱仪包括光学系统(1)、真空系统(2)、图像采集系统(3)、支撑系统(4)；其特征在于在支撑系统(4)上活动安装有真空系统(2)；在真空系统(2)的柱形真空腔(21)内装有光学系统(1)，在真空系统(2)的一端对应于其内的光学系统(1)活动设有图像采集系统(3)。
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