[外观设计]半导体制造用加热器无效
| 申请号： | 02351022.6 | 申请日： | 2002-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN3344011D | 公开（公告）日： | 2003-12-31 |
| 发明（设计）人： | 山贺健一 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社;东芝陶磁股份有限公司 |
| 主分类号： | 23-03 | 分类号： | 23-03 |
| 代理公司： | 北京东方亿思专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陆锦华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 1.本产品安装在半导体制造炉中。2.左视图与右视图对称，省略左视图。3.图中B部位表示加热器中的电阻丝套管，B部位的局部轴向放大剖视图表示电阻丝套管的局部一小段沿轴向剖切后的放大示意图，表示套管内部含有螺旋形的电阻丝。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 制造 加热器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社;东芝陶磁股份有限公司，未经东京毅力科创株式会社;东芝陶磁股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02351022.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
