[发明专利]电容型位移传感器有效
申请号: | 02800235.0 | 申请日: | 2002-01-30 |
公开(公告)号: | CN1457422A | 公开(公告)日: | 2003-11-19 |
发明(设计)人: | 大卫·肯尼斯·托马斯;安德鲁·洛克;格雷厄姆·理查德·弗格森 | 申请(专利权)人: | 瑞尼斯豪公司 |
主分类号: | G01D5/241 | 分类号: | G01D5/241;G01B7/012 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 林潮,顾红霞 |
地址: | 英国格洛*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开一种位移响应装置,例如测量探头(110)。探针(130)的位移使被板簧(112)和(114)支撑的托架(134)发生可回复的运动。该运动可被由两个圆筒(164)和(166)形成的电容传感器(160)探测。这两个圆筒以至少三个自由度运动且所述运动过程中的电容量的变化可由电路(例如图5中所示)测定。X,Y和Z方向的运动可被检测出。 | ||
搜索关键词: | 电容 位移 传感器 | ||
【主权项】:
1.一种位移响应装置,包括第一部件和至少可以相对第一部件以三个运动自由度的移动的第二部件,还包括至少有两个间隔开的电容元件的电容型位移传感器,其中一个元件与第一部件相连而另一个与第二部件相连,这样两元件就可以以至少三个自由度相对运动,从而改变其电容,其特征在于,所述电容元件为至少两个共轴的管的形式,一个位于另一个内部。
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