[发明专利]控制径向增量温度的系统和方法无效
| 申请号： | 02800595.3 | 申请日： | 2002-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN1459017A | 公开（公告）日： | 2003-11-26 |
| 发明（设计）人： | 科尔·波特;艾伦·斯塔纳 | 申请（专利权）人： | ASML美国公司 |
| 主分类号： | F27D11/00 | 分类号： | F27D11/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 冯谱 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了通过限制作为变量的当前值函数的斜率而尽可能降低与变量斜率相关的应力的一种系统和方法。更具体来说，本发明提供了通过在处理期间动态控制温度斜率，把半导体基片或其它被加热物体的径向增量温度保持在晶体滑动曲线以下的系统和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 径向 增量 温度 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.限制变量倾斜率的一种方法，包括以下步骤：计算所述变量在当前值所述变量的最大可允许斜率；以及限制所述变量被倾斜的斜率，使其不超过所述最大允许斜率。
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