[发明专利]具有附设加热器的传感器芯片及避免传感器芯片污染的方法以及附设加热器在传感器芯片上的应用无效
| 申请号： | 02800601.1 | 申请日： | 2002-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN1459020A | 公开（公告）日： | 2003-11-26 |
| 发明（设计）人： | 汉斯·黑希特;乌韦·康策尔曼;托尔斯腾·舒尔茨 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博施有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 曾立 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在现有技术的传感器芯片上传感器区的范围中会沉积流动介质的污物并使该传感器区持续污染，这导致对膜的测量性能的不良影响。在根据本发明的传感器芯片(1)上设有一个附设加热器(39)，它在上游相对传感器区(17)以一明显的距离设置。这将导致：流动介质的污物沉积在附设加热器(39)的区域中，即不再能到达传感器区(17)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 附设 加热器 传感器 芯片 避免 污染 方法 以及 应用 | ||
【主权项】：
1.用于测量流动介质的至少一个参数的传感器芯片，它具有用于至少一个测量方法的传感器区，其特征在于：在传感器芯片(1)上设有至少一个附设加热器(39)，它相对传感器区(17)以一定距离设置，及传感器区(17)与附设加热器(39)无关地工作。
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