[发明专利]湿度传感器元件及其制造方法

摘要

提供一种湿度传感器元件及其制造方法，其中，在绝缘基板上隔着间隙设有一对相向的电极，在间隙上具有感湿薄膜，感湿薄膜含有由式(1)的单体聚合得到的聚合物或共聚物，在形成该感湿薄膜时，可以进一步适宜组合物理手段处理绝缘基板，上述湿度传感器元件能够检测、定量大气中的水分，具有优良的耐水性、耐溶剂性和耐气性，在很宽的湿度范围内无滞后性，具有稳定的输出特性。[式(1)中，A11代表二价基。R11～R14各自代表烷基，相同或不同均可。Y11和Y12各自代表在末端有烯属不饱和反应性基团的一价基，相同或不同均可。R11～R14、Y11、Y12、A11和它们的氮原子(N)侧的一部分中的任意2个以上可以结合，与氮原子(N)形成环。X11－和X12－为阴离子]。

主权项

1.一种湿度传感器元件，其中，在绝缘基板上隔着间隙设有一对相向的电极，在所述间隙上具有感湿薄膜，前述的感湿薄膜含有式(1)所示的单体1种以上和式(2)所示的单体1种以上的共聚物。式(1)中，A11代表二价基。R11，R12，R13和R14各自代表烷基，相同或不同均可。Y11和Y12各自代表在末端有烯属不饱和反应性基团的一价基，相同或不同均可。R11～R14、Y11、Y12、A11和它们的氮原子(N)侧的一部分中的任意2个以上也可以各自结合，与氮原子(N)形成环。X11-和X12-各自表示阴离子，相同或不同均可。式(2)中，A和B各自代表二价基。Y1，Y2，Y3，Y4，Y5和Y6各自代表一价基，相同或不同均可，它们中的至少一个是末端有烯属不饱和反应性基团的基团。Y1，Y2，Y3，Y4，Y5，A和它们的氮原子(N)侧的一部分中的任意2个以上，或者Y4，Y5，Y6，B和它们的氮原子(N)侧的一部分中的任意两个以上也可以各自结合，与氮原子(N)形成环。X1-和X2-各自表示阴离子，相同或不同均可。n为2～5000。