[发明专利]光发射接收复合单元和使用它的位移检测装置有效
| 申请号： | 02800904.5 | 申请日： | 2002-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN1460174A | 公开（公告）日： | 2003-12-03 |
| 发明（设计）人： | 久米英广;中山明仁;谷口佳代子;黑田明博 | 申请（专利权）人： | 索尼公司;索尼精密技术株式会社 |
| 主分类号： | G01D5/38 | 分类号： | G01D5/38;G01B11/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘宗杰,王忠忠 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明是光发射接收复合单元(1)，通过将光源(3)、用于将返向单元的回射光分为多个光束的光分路部(4)、根据回射光的偏振状态增减透光量的偏振部(5)以及包含用于探测经过偏振部(5)的光的多个光探测部(6－1至6－4)的光接收部(6)进行封装，形成了一体化结构。作为在该单元(1)外部的外部光学系统ET，配置了包含反射型衍射光栅RG的被检测部；使从单元(1)出射的光向反射型衍射光栅RG反射的反射构件(R1a、R1b)；接受由反射型衍射光栅RG产生的衍射光、改变其偏振状态的偏振构件(WP1a、WP1b)；以及用于反射通过各偏振构件的光、使其沿反方向返回的反射构件(R2a、R2b)，构成了光栅干涉型位移检测装置。 | ||
| 搜索关键词： | 发射 接收 复合 单元 使用 位移 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光发射接收复合单元，其特征在于：包括：光源；用于将从上述光源发出的光中的、通过外部光学系统返回单元的光分为多个光束的光分路部；根据上述回射光的偏振状态增减透光量的偏振部；以及包含用于探测经过上述偏振部的光的多个光探测部的光接收部，将上述光源、上述光分路部、偏振部和光接收部配置在同一构件内，形成一体化。
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