[发明专利]等离子体处理装置、等离子体处理方法和滞波板

摘要

一种使用了放射线槽天线的微波等离子体处理装置，由与滞波板(18)的热膨胀率接近的材料或通过在构成滞波板(18)的电介质板上附着金属来形成槽板(16)。提高天线中滞波板与构成微波辐射面的槽板之间的粘附性，防止异常放电。

主权项

1.一种等离子体处理装置，由：用外壁围成并具有保持被处理基板的保持台的处理容器；连接于所述处理容器的排气系统；向所述处理容器中提供等离子体气体的等离子体气体供给部；和在所述处理容器之上、对应于所述等离子体气体供给部而设置的、通过同轴波导管供电的微波天线构成，其特征在于：所述微波天线由具有开口部的辐射线路背面金属板；设置成覆盖位于所述辐射线路背面金属板上的所述开口部且具有多个槽的微波辐射面；和设置在所述辐射线路背面金属板与微波辐射面之间的电介质板构成，所述微波辐射面由导电性材料构成，该导电性材料与所述电介质板的热膨胀率差相对于所述电介质板的热膨胀率在10％以内。