[发明专利]具有等位面的传感器芯片及等位面在传感器芯片上的应用及避免沾污传感器芯片的方法无效
| 申请号： | 02801222.4 | 申请日： | 2002-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN1461405A | 公开（公告）日： | 2003-12-10 |
| 发明（设计）人： | 乌韦·康策尔曼;托尔斯腾·舒尔茨 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博施有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 曾立 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 按照现有技术，在传感器芯片中，由于从传感器芯片旁边流过的介质中的脏物，会在传感器区域内产生沉积。本发明传感器芯片(1)至少在传感器区域(17)的上游具有至少一个等位面(44，47，50，53)，该等位面通过与流动介质中的脏物的相互电作用阻止传感器区域(17)内的沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 等位 传感器 芯片 应用 避免 沾污 方法 | ||
【主权项】：
1.用于测量流动介质的至少一个参数的传感器芯片，它具有一个用于至少一种测量方法的传感器区域，其中，介质具有一个主流动方向(42)，其特征为，在传感器芯片(1)上，至少部分地在上游、传感器区域(17)的前面安置至少一个等位面(44，47，50，53)。
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