[发明专利]保护膜形成方法、保护膜形成用材料及研磨性保护膜形成用薄板有效
申请号: | 02801999.7 | 申请日: | 2002-05-31 |
公开(公告)号: | CN1463302A | 公开(公告)日: | 2003-12-24 |
发明(设计)人: | 大原稔;妻鹿雅彦 | 申请(专利权)人: | 三菱重工业株式会社 |
主分类号: | C23C26/00 | 分类号: | C23C26/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 李贵亮;杨梧 |
地址: | 暂无信息 | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种保护膜形成方法,该方法的步骤包括:首先,准备焊料薄板(步骤S1)。焊料薄板由焊料层、粘着料层、起模纸组成。焊料层由焊料组成。然后,在焊料层层叠覆盖料层(步骤S2)。覆盖料层由覆盖料粒子和粘合剂的混合物组成。作为覆盖料粒子,使用MCrAlY粒子和研磨粒子(立方晶氮化硼粒子等)。然后,干燥覆盖料层(步骤S3)、截断焊料薄板(步骤S4)、贴到转动叶片(步骤S5)。然后,加热转动叶片(步骤S6)、熔融焊料。焊料在MCrAlY粒子周围作为液相润湿、而且通过热处理保持过程而扩散。然后,冷却(步骤S7)形成凝固层。对该凝固层进行喷丸处理(步骤S8)使立方晶氮化硼粒子突出,完成研磨性保护膜。 | ||
搜索关键词: | 保护膜 形成 方法 用材 料及 研磨 薄板 | ||
【主权项】:
1.一种保护膜形成方法,其特征在于,包括:在保护膜形成对象物表面层叠以焊料为主成分的焊料层和以覆盖料为主成分的覆盖料层的层叠工序,加热层叠的所述焊料层和覆盖料层使焊料成分向覆盖料中扩散至少使所述覆盖料一部分熔融的熔融工序,使熔融的所述覆盖料凝固粘合到所述保护膜形成对象物上的粘合工序。
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