[发明专利]溅射装置无效
| 申请号： | 02802068.5 | 申请日： | 2002-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN1535327A | 公开（公告）日： | 2004-10-06 |
| 发明（设计）人： | 松本年之;荻野悦男;石井章聖 | 申请（专利权）人： | 日本板硝子株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/40 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 杜日新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种溅射装置，包括：腔室，使成膜对象可移动地配置；多组阴极，以极性反转的两个为一组，设置在所述腔室内；以及多个AC阴极电源，分别连接到各组阴极，在施加交流电压使各组阴极同时放电时，使各自的输出频率及相位同步，使得各组阴极的放电没有干扰。由各输出的频率和相位同步的多个AC阴极电源将电压施加在多组阴极上。因此，即使在同一腔室内相邻配置、连接到各个不同的AC阴极电源上的多个阴极同时开始放电，放电也没有不稳定地摆动。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种溅射装置，其特征在于，它包括：腔室，使成膜对象可移动地配置；多组阴极，以极性反转的两个为一组，设置在所述腔室内；以及多个AC阴极电源，分别连接到各组阴极，在施加交流电压使各组阴极同时放电时，使各自的输出频率及相位同步，使得各组阴极的放电没有干扰。
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