[发明专利]脆性材料基板的破断装置及其破断方法

摘要

一种破断装置及破断方法，其中，第1产品台13和第2产品台14配置于滑动台11和倾转台12并且其边缘部具有一定角度。两面划线的基板G载置于台上，由第1夹持杆15a和第2夹持杆16a推压固定基板。当使第2产品台14回转时，将夹持杆作为推压点相对基板G的划线S作用剪切力和拉伸力。为此，夹持杆的间隙少的一方作为破断点起作用，基板G朝左右截断。

主权项

1.一种脆性材料基板的破断装置，其特征在于：具有第1、第2产品台、第1产品夹持装置、第2产品夹持装置、滑动机构、倾转机构、及回转控制部；该第1、第2产品台载置至少在1面形成划线的脆性材料基板并使上述划线位于其间隙之间；当将与上述第2产品台相向的上述第1产品台的边缘作为第1边缘、将与上述第1产品台相向的上述第2产品台的边缘作为第2边缘时，该第1产品夹持装置推压上述脆性材料基板的位于上述第1边缘的部分进行固定；该第2产品夹持装置推压上述脆性材料基板的位于上述第2边缘的部分对其进行固定；该滑动机构朝与上述脆性材料基板的划线成直角的方向使上述第1产品台和第1产品夹持装置成一体地从划线后退地提供压力；该倾转机构可将与上述脆性材料基板的划线平行的倾转轴作为回转轴，使上述第2产品台和第2产品夹持装置一体回转；该回转控制部控制上述倾转机构，使上述第2产品台和第2产品夹持装置回转；上述第1产品台和第2产品台使两台的相向边缘不平行地配置，上述第2产品台的倾转轴从上述脆性材料基板的划线观看时处于基板的厚度范围内。