[发明专利]具有可移动的百叶窗挡板的反应器

摘要

一用来生长外延层的反应器(120)包括一反应室(122)，该反应室具有用来将晶片载体(196)插入反应室和从反应室中取出的贯穿开口(144)。该反应器还包括一位于反应室(122)内的圆柱形百叶窗挡板(148)，用来有选择地关闭贯穿开口(144)。圆柱形百叶窗挡板(148)在关闭贯穿开(144)的第一位置和打开贯穿开口的第二位置之间移动。圆柱形百叶窗挡板(148)包括一适于接纳冷却液的内部腔(150)和用来将冷却液引导入内部腔(150)的管子(152)。管子(152)永久地固定在百叶窗挡板(148)上，并与其同步地移动。圆柱形百叶窗挡板(148)基本上包围晶片载体(196)的外周缘，由此，最大程度地减小反应气体的温度场和流场的不均匀性的特性。

主权项

1.一用于生长外延层的反应器，它包括：一反应室，它包括一贯穿的开口，用来将晶片载体向所述反应室插入和从其中取出；一位于所述反应室内的圆柱形百叶窗挡板，用来有选择地关闭所述贯穿开口，所述圆柱形百叶窗挡板可在关闭所述贯穿开口的第一位置和打开所述贯穿开口的第二位置之间移动，其中，所述圆柱形百叶窗挡板包括一适于接纳冷却液的内部腔。