[发明专利]热处理装置和热处理方法

摘要

热处理装置具有处理容器28和被放置到处理容器28内、多级支撑被处理体W的被处理体舟30。当操作员比如从输入操作部18输入所希望的作业识别记号J1～Jh时，则通过利用该作业识别记号所特定的作业处方，分别从布局存储部16和流程存储部14读出布局程序和流程程序，并按作业处方所表示的时间序列的顺序依次执行这些程序。由此，只选择作业识别记号就可以选择各种布局程序和流程程序的组合。

主权项

1.一种热处理装置，其特征在于：具有处理容器；被处理体舟，其被配置在处理容器内、在规定位置多级放置多枚被处理体；布局存储部，其包含使上述多枚被处理体以不同的布局状态放置到上述被处理体舟上的、并且各自具有特定的布局识别记号的多个布局程序；流程存储部，其包含为对上述被处理体实施不同的热处理，各自流程条件不同的、并且各自具有特定的流程识别记号的多个流程程序；作业处方存储部，其包含从与上述多个布局程序的各个分别相对应的布局识别记号和与上述多个流程程序的各个分别相对应的流程识别记号中，选择任意的布局识别记号和流程识别记号，按照应执行的顺序，将它们按时间序列排列的、并且各自具有特定作业识别记号的多个作业处方；控制单元，其控制执行通过由外部输入的上述作业识别记号所对应的作业处方而特定的上述布局程序和上述流程程序。