[发明专利]铈类研磨材料浆剂及其制造方法有效
| 申请号： | 02802963.1 | 申请日： | 2002-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN1473186A | 公开（公告）日： | 2004-02-04 |
| 发明（设计）人： | 内野义嗣;牛山和哉 | 申请（专利权）人： | 三井金属鉱业株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00;B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 胡烨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是含有全稀土类氧化物(TREO)占95重量％以上的铈类研磨材料粒子的铈类研磨材料浆剂。上述铈类研磨材料粒子中，对应于TREO的氟含量不到3重量％，利用激光衍射法测得的粒径分布在规定范围内。另外，将对应于TREO的氟含量定为0.005－0.5重量％可改善附着性。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 材料 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种铈类研磨材料浆剂，含有全稀土类氧化物(TREO)占95重量％以上的铈类研磨材料粒子，其特征在于，上述铈类研磨材料粒子中，对应于TREO的氟含量不到3重量％，激光衍射法测得的累积10％粒径(D10)、累积50％粒径(D50)、累积90％粒径(D90)、最大粒子粒径(Dmax)在以下的范围内：0.1μm≤D10≤0.6μm0.2μm≤D50≤1.0μm0.3μm≤D90≤1.5μm0.5μm≤Dmax≤5.0μm。
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