[发明专利]图案化方法及装置、膜形成方法及装置、电光学装置及其制法

摘要

提供一种材料选择自由度高的新颖的图案化方法，同时提供一种膜形成方法、图案化装置、膜形成装置、电光学装置及其制造方法、电子仪器、和电子装置及其制造方法。具备能调整到高真空度的真空腔室(2)，与材料供给源(7)连接并安装在真空腔室(2)上、向该真空腔室(2)内供给材料供给源(7)中材料的喷嘴(3)，和设置在真空腔室(2)内保持固定基体S的基体载物台(4)构成的图案化装置(1)。在喷嘴(3)或基体载物台(4)上设有使其相对位置移动的移动机构(11)。理想上最好生成材料分子的自由喷射，利用这种自由喷射图案化(自由喷射图案化)。这样更高精度的图案化成为可能。

主权项

1、一种图案化方法，其特征在于：将基体配置在被调整到高真空度的真空气氛中，由与材料供给源连接的喷嘴向上述真空气氛中喷出材料，在上述基体上形成由上述材料组成的图案。