[发明专利]感光树脂组合物

摘要

本发明描述了一种感光树脂组合物，其包含一种碱溶性树脂如(甲基)丙烯酸烷基酯和(甲基)丙烯酸的共聚物，和一种含醌二叠氮化物基团的光敏剂，一种由如下通式(I)表示的多环酚化合物，如果需要的话，还包含一种具有环氧基团的硬化剂，这种组合物用于形成具有高耐热性，高绝缘性，高分辨率和高透光性的平面化膜或层间介电膜，其可用于半导体或平面平板显示器，还描述了薄膜图案形成方法。式（Ⅰ）中，R₁，R₂，R₃，R₄，R₅，R₆和R₇彼此独立地表示H，C_1－4烷基或m和n彼此独立地表示整数0－2，每一个a，b，c，d，e，f，g和h为整数0－5，满足a+b≤5，c+d≤5，e+f≤5和g+h≤5，和i为整数0－2。

主权项

1.一种感光树脂组合物，其包含一种碱溶性树脂和一种含醌二叠氮化物基团的光敏剂，其中，碱溶性树脂是丙烯酸树脂，所述的感光树脂组合物进一步包含由通式(I)表示的酚化合物：其中，R₁，R₂，R₃，R₄，R₅，R₆和R₇彼此独立地表示H，C_1-4烷基或m和n彼此独立地表示整数0-2，每一个a，b，c，d，e，f，g和h为整数0-5，满足a+b≤5，c+d≤5，e+f≤5和g+h≤5，和i为整数0-2。