[发明专利]具有端点侦测口的研磨片有效
| 申请号： | 02803460.0 | 申请日： | 2002-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN1484568A | 公开（公告）日： | 2004-03-24 |
| 发明（设计）人： | 罗兰·K·塞维拉;詹姆斯·A·希克斯;杰里米·琼斯 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24D13/12;B24D13/14;B24D7/12;B24B49/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马高平;杨梧 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种研磨片，其包括(a)一主体，其包括一正面、一背面以及一周缘表面；(b)一研磨表面；(c)一端点侦测口，其由主体的正面贯穿至背面；以及(d)一排放槽道，其与该端点侦测口形成流体连通。本发明还提供一种制造此一研磨片的方法，以及一种利用此一研磨片来研磨一基板的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 端点 侦测 研磨 | ||
【主权项】：
1.一种研磨片，其包括(a)一主体，其包括一正面、一背面以及一周缘表面，(b)一研磨表面，(c)一端点侦测口，其由主体的正面贯穿至背面，以及(d)一排放槽道，其与该端点侦测口形成流体连通。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于卡伯特微电子公司，未经卡伯特微电子公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02803460.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
