[发明专利]测量电子元件中触点位置的方法和设备无效
| 申请号： | 02804004.X | 申请日： | 2002-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN1502220A | 公开（公告）日： | 2004-06-02 |
| 发明（设计）人： | 卡尔·斯麦茨;卡瑞尔·范·基尔斯;约翰·扎博理特斯基;于尔根·埃费拉茨 | 申请（专利权）人： | ICOS影像系统股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K13/08 | 分类号： | H05K13/08 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蒋世迅 |
| 地址： | 比利时*** | 国省代码： | 比利时;BE |
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| 摘要： | 一种测量电子元件中一组N个触点各个位置的方法和设备。第一光路和第二光路是由不同视角的第一光束和第二光束建立的。可以有选择地开启第一光路和第二光路，并这两个光路终止于单个照相机的图像平面。利用第一光束和第二光束分别产生的第一图像和第二图像确定这些触点位置。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 电子元件 触点 位置 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种测量电子元件中一组N个触点各个位置的方法，所述方法包括：-使所述一组的触点位于测量平面；-借助于基本均匀的第一光源，照明所述测量平面；-形成第一光束建立的第一光路，第一光束是由所述第一光源产生并沿第一视角的方向从至少一个所述触点反射，其中所述第一光路是从所述至少一个触点开始并终止于照相机的图像平面；-形成第二光束建立的第二光路，第二光束是沿第二视角的方向从至少一个所述触点反射得到的，第二视角值不同于所述第一视角值，其中所述第二光路是从所述至少一个触点开始并终止于所述照相机的所述图像平面；-借助于所述照相机和有选择地开启所述第一光路，形成所述触点的第一图像，和借助于所述照相机和有选择地开启所述第二光路，形成所述触点的第二图像；-利用所述第一图像和第二图像测量所述位置。
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