[发明专利]接触探针及其制造方法和检查装置以及检查方法无效
| 申请号： | 02804024.4 | 申请日： | 2002-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN1527945A | 公开（公告）日： | 2004-09-08 |
| 发明（设计）人： | 平田嘉裕;羽贺刚;沼泽稔之;仲前一男;冈田一范;依田润 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李贵亮;杨梧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种接触探针的制造方法。其包括：电铸工序，其使用在衬底(521)上配置的、具有和接触探针对应形状的图形框的抗蚀层(522)，进行电铸而填平抗蚀层(522)的间隙而形成金属层(526)；尖端加工工序，其将上述金属层(526)中成为接触探针尖端部的部分斜着削成尖；取出工序，其从图形框中只取出金属层(526)。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 探针 及其 制造 方法 检查 装置 以及 | ||
【主权项】：
1.一种接触探针，具有尖端部，其由基于规定的图形在一个方向形成的电铸金属层(526)制成；上述尖端部通过具有通过机加工形成的和上述电铸的形成方向斜交的斜面形成尖状。
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