[发明专利]用于存储器连接处理的飞击射束路径误差校正

摘要

激光射束定位器(图12，340，236，260，262，302，304，310，312，316，318，320，322，324，326，328，330，336，342)使用一种操作镜，其执行激光射束的小角度反射，以补偿定位器平台的交叉轴的定位误差。由于定位器平台任一轴可以用于执行工作，因此一种两轴操作镜是优选的。在一个实施例中，操作镜仅用于误差校正，而不需要以定位器平台的位置命令来协调。在半导体连接处理(“SLP”)的应用中，一种使用弯曲机构以及压电驱动装置来倾倒以及倾斜该镜子的快速操作镜是优选的。本发明补偿交叉轴的定位时间，致使SLP系统的产量以及精度增加，同时由于该操作镜的校正会宽松化定位器平台的伺服驱动需求，因而简化了定位器平台的复杂度。

主权项

1.一种用来引导一激光射束朝向一工件上目标位置，以响应目标位置的坐标位置命令的设备，其包括：一定位器，其响应坐标位置命令，而让工件和激光射束彼此相对定位；第一与第二位置传感器，其耦合到所述定位器，用以产生第一与第二位置信号，指示所述定位器实际的坐标位置；第一与第二加总接合点，比较所述坐标位置命令以及所述第一与第二位置信号，并且产生第一与第二误差信号，指示所述坐标位置命令与所述实际坐标位置之间的差异；一第一操作镜控制器，其耦合到所述第一误差信号，用以产生一第一位置校正信号；以及一两轴操作镜，其响应于所述第一位置校正信号，用以接收所述激光射束，并且将所述激光射束反射至所述工件上的目标位置。