[发明专利]阳极氧化装置、阳极氧化方法

摘要

本发明提供一种阳极氧化装置及阳极氧化方法，对被处理基板的被处理部的光照射均匀，由此在被处理基板面内能进行更均匀的阳极氧化处理。其具备：放射光的灯；设置于放射的光到达的位置上、可以保持被处理基板的被处理基板保持部；设置于放射的光到达被处理基板的途中、具有用于使光通过的开口部并具有不透过光的导体部的阴极电极；使阴极电极、上述灯或被处理基板保持部的空间位置周期振动的振动机构。维持灯、阴极电极、保持被处理基板的被处理基板保持部的这三者的大概位置关系，使其中的至少一个的空间位置周期地振动，由此，阴极电极的影子在被处理基板上随时间的推移而分散。

主权项

1.一种阳极氧化装置，其特征在于：具备：放射光的灯；设置于所述放射的光到达的位置上、可以保持被处理基板的被处理基板保持部；设置于所述放射的光到达所述保持的被处理基板的途中、具有用于使所述光通过的开口部并具有不透过所述光的导体部的阴极电极；使所述阴极电极、所述灯或所述被处理基板保持部的空间位置周期振动的振动机构。