[发明专利]使用臭氧的化学-机械平面化方法无效

专利信息
申请号: 02805701.5 申请日: 2002-02-08
公开(公告)号: CN1494735A 公开(公告)日: 2004-05-05
发明(设计)人: R·J·斯莫尔;尚小蔚 申请(专利权)人: EKC科技公司
主分类号: H01L21/306 分类号: H01L21/306;H01L21/321;H01L21/3105;H01L21/461;H01L21/768
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 任宗华
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及在化学机械平面化中,作为反应物的臭氧(O3)的用途,其以水溶液或气体形式直接作用于待平面化的表面。含臭氧的水溶液选择性地含有研磨颗粒和/或与臭氧共溶的其它CMP试剂,包括碳酸盐和碳酸氢盐阴离子,以及有机酸,例如甲酸、草酸、乙酸和乙二醇酸。可以加入的研磨剂包括氧化铝、二氧化硅、二氧化铈、尖晶石和氧化锆。水溶液中的常规臭氧浓度在约每百万分之1份(“ppm”)-饱和的范围内。铵盐,特别是碳酸铵与含臭氧水溶液结合使用有助于平面化。根据本发明,使用臭氧反应物可以将有机和无机低k介电材料,以及难以氧化的金属平面化。
搜索关键词: 使用 臭氧 化学 机械 平面化 方法
【主权项】:
1.一种用于化学机械平面化的组合物,包括臭氧水溶液和研磨剂颗粒。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于EKC科技公司,未经EKC科技公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/02805701.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code