[发明专利]光学集成模块的分离以及由此形成的装置有效
| 申请号： | 02805993.X | 申请日： | 2002-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN1666391A | 公开（公告）日： | 2005-09-07 |
| 发明（设计）人： | 艾伦·D·卡特曼;韩洪涛;杰伊·马修斯;约翰·巴尼特·哈蒙德 | 申请（专利权）人： | 数字光学公司 |
| 主分类号： | H01S5/02 | 分类号： | H01S5/02;H01L21/78 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陆弋;钟强 |
| 地址： | 美国北*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种其上具有光学元件的装置，具有以至少一个方向在具有光学元件的区域上延伸的一部分装置。该装置可包括有源光学元件，具有不同尺寸的基底，形成使得有源光学元件能够电互联访问的装置。不同的切割技术可用于实现不均匀的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 集成 模块 分离 以及 由此 形成 装置 | ||
【主权项】：
1.一种制造电光模块的方法，包括：提供其上具有多个有源元件的有源元件晶片；将其上具有功能部件的功能部件晶片对准有源元件晶片；在有源元件晶片与功能部件晶片的至少之一上提供电焊盘；将功能部件晶片与有源元件晶片进行连接以形成集成的晶片；以及从集成的晶片中分离出管芯，至少一个管芯包括至少一个有源元件与一功能部件，所述分离包括通过集成的晶片沿着不同的垂直路径分离，从而具有电焊盘的至少一部分晶片在其它晶片之上延伸。
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