[发明专利]热射线反射材料和使用热射线反射材料的加热装置无效
| 申请号： | 02806115.2 | 申请日： | 2002-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN1531478A | 公开（公告）日： | 2004-09-22 |
| 发明（设计）人： | 阿部孝夫 | 申请（专利权）人： | 信越半导体株式会社 |
| 主分类号： | B32B7/02 | 分类号： | B32B7/02;B32B9/00;F24C15/22;H01L21/31;H01L21/22 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 谢喜堂 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种加热设备20包括在其中形成有工件安放空间1的容器2，以及对工件安放空间1中的工件W进行加热的热源3。所述设备进一步包括热射线反射部件10，所述热射线反射部分10具有由热射线反射材料构成的热反射表面10a，使之允许使工件安放空间1中产生的热射线在热反射表面10a上反射，从而改变热射线的方向朝向工件W。用于在特定波长波段中反射热射线的热射线反射材料包括多个单元反射层的叠层，所述单元反射层包括对于热射线具有透明特性的材料，其中，在单元反射层中，由对于热射线的折射率相互不同的材料的组合来构成两个相邻层，同时保持1.1或更大的折射率之间的差异。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 反射 材料 使用 加热 装置 | ||
【主权项】：
1.一种能够反射特定波长波段中的热射线的热射线反射材料，是多个单元反射层的叠层，所述单元反射层包括对于热射线具有透明特性的材料，其中，在所述单元反射层中，两层相邻层由对于热射线的折射率相互不同的材料组合构成，同时保持1.1或更大的折射率之间的差。
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