[发明专利]铈类研磨材料及研磨材料浆液和铈类研磨材料的制造方法无效
| 申请号： | 02806168.3 | 申请日： | 2002-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN100376652C | 公开（公告）日： | 2004-09-08 |
| 发明（设计）人： | 伊藤昭文;望月直义;牛山和哉;渡边广幸 | 申请（专利权）人： | 三井金属鉱业株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B57/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 张宜红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是以氧化铈为主成分的铈类研磨材料，它具有如下特征：构成研磨材料的研磨材料粒子由含有硅或硅化合物构成的硅成分和铝或铝化合物构成的铝成分中的至少一种的覆盖层覆盖。该铈类研磨材料，是将铈类研磨材料湿式分散于分散介质中，制成浆液，在该浆液中添加含有硅化合物或铝化合物中至少一种的处理溶液，进行表面处理而制成。另外，也可以在以往的铈类研磨材料的制造工序中，在粉碎工序中或粉碎工序后在上述的浆液中添加含有硅化合物或铝化合物中至少一种的处理溶液，进行表面处理后，进行焙烧、分级而制成。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 材料 浆液 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.铈类研磨材料，它是以氧化铈为主成分，平均粒径为0.2-5μm的铈类研磨材料，其特征在于，构成研磨材料的研磨材料粒子被一层或二层含有硅无机化合物、铝无机化合物、或者它们的混合物的覆盖层覆盖。
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