[发明专利]接触探头无效

专利信息
申请号: 02806271.X 申请日: 2002-10-10
公开(公告)号: CN1496482A 公开(公告)日: 2004-05-12
发明(设计)人: 羽贺刚;岛田茂树;木村淳 申请(专利权)人: 住友电气工业株式会社
主分类号: G01R1/067 分类号: G01R1/067;H01L21/66
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 李晓舒;魏晓刚
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种接触探头,包括一个用于与待测量的表面接触的末端部、一个用于支撑和电连接的支撑部、以及一个用于将末端部连接到支撑部上的弹性部。在压接触同时进行刮擦的过程中的末端部后侧上的角部的曲率半径小于在前侧上的角部的曲率半径。在刮擦过程中,待测量的表面的绝缘膜可以被充分去除,同时确保电连接。此外,在探头从表面上移去时可以减少刮屑粘附,并且也可以减小在表面上的刮痕。本发明的接触探头在末端部的凹槽内具有预定的突起和底部。突起破开待测量的弯曲表面的绝缘膜,以确保电接触。凹槽的底部与待测量的对象接触,由此防止突起过渡咬入。
搜索关键词: 接触 探头
【主权项】:
1.一种接触探头,包括:末端部,用于与待测定面接触;以及支撑部,用于支撑并且进行电连接;以及弹性部,将所述末端部连接到所述支撑部上;所述末端部还包括:接触平面,该接触平面设置于末端部的末端处,用以与所述待测定物面接触;第一倾斜面以及第二倾斜面,其是夹着所述接触平面而设置的倾斜面;所述末端部、所述支撑部以及所述弹性部被构造成,当固定所述支撑部之后所述接触平面压靠在所述待测定面时,通过所述弹性部产生的弹性变形,在保持所述接触平面与所述待测定面接触的同时,移位到从所述接触平面观察到的所述第一倾斜面一侧;所述第一斜面与接触平面之间的夹角至少为90度并且至多为170度;所述第二斜面与接触平面之间的夹角至少为90度并且至多为170度;所述第一斜面与接触平面之间的夹角部以第一曲率半径倒圆;所述第二斜面与接触平面之间的夹角部以大于第一曲率半径的第二曲率半径倒圆。
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