[发明专利]压电元件、喷墨头、角速度传感器及其制法、喷墨式记录装置有效
| 申请号： | 02807189.1 | 申请日： | 2002-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN1498428A | 公开（公告）日： | 2004-05-19 |
| 发明（设计）人： | 藤井映志;鸟井秀雄;高山良一;友泽淳;村田晶子;平泽拓 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/24;B41J2/045;B41J2/055;G01C19/56 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在压电元件中，在基板(11)上设置附着层(12)，在该附着层(12)上设置由含有钛或氧化钛的贵金属构成的第1电极层(14)，在该第1电极层(14)上设置优先取向(100)面或(001)面的取向控制层(15)。该取向控制层(15)中的第1电极层(14)侧的表面附近部的结构为：(100)面或(001)面取向的区域存在于位于第1电极层(14)中的取向控制层(15)侧的表面部的钛或氧化钛上且上述区域在垂直于层厚方向的截面上的面积从第1电极层(14)侧向相反侧变大。于是，在该取向控制层(15)上设置优先取向(001)面的压电体层(16)。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 喷墨 角速度 传感器 及其 制法 喷墨式 记录 装置 | ||
【主权项】：
1.一种压电元件，具备：设置于基板上的第1电极层、设置于该第1电极层上的取向控制层、设置于该取向控制层上的压电体层、以及设置于该压电体层上的第2电极层，其特征在于，所述第1电极层由含有钛或氧化钛的贵金属构成，所述取向控制层由优先取向立方晶系或正方晶系的(100)面或(001)面的钙钛矿型氧化物构成，所述压电体层由优先取向菱面体晶系或正方晶系的(001)面的钙钛矿型氧化物构成，所述取向控制层中的至少第1电极层侧的表面附近部的结构为：(100)面或(001)面取向的区域存在于位于第1电极层中的取向控制层侧的表面部的钛或氧化钛上，而且所述区域在垂直于层厚方向的截面中的面积从第1电极层侧向压电体层侧变大。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于松下电器产业株式会社，未经松下电器产业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02807189.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：半导体发光元件
- 下一篇：磁阻元件及其制造方法
