[发明专利]含水镀液的脱气方法无效
| 申请号： | 02807531.5 | 申请日： | 2002-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN1499992A | 公开（公告）日： | 2004-05-26 |
| 发明（设计）人： | 拜平·帕雷赫;萨克塞斯·利;吴群伟 | 申请（专利权）人： | 迈克里斯公司 |
| 主分类号： | B01D19/00 | 分类号： | B01D19/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 于辉 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本申请提供了一种从镀铜溶液中脱除氧气的方法。溶液流经一个包括外壳和中空疏水纤维多孔膜的脱气装置，其中将外壳中与液体接触的纤维表面相反的一侧抽真空。气体通过纤维壁而阻止液体渗过纤维孔。监测溶液组成并添加溶液所需的组分以使其组成实质上维持恒定。 | ||
| 搜索关键词： | 含水 脱气 方法 | ||
【主权项】：
1.从镀铜溶液中脱除氧气的方法，其包括：将所述溶液流经位于壳内的中空疏水纤维膜的表面，同时在不与所述溶液接触的膜表面上抽真空，避免所述溶液大量侵入所述的膜孔中，而允许氧气从所述溶液中通过所述的孔。
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