[发明专利]用于产生远紫外线辐射或软X射线辐射的方法和装置有效
| 申请号： | 02807601.X | 申请日： | 2002-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN1500369A | 公开（公告）日： | 2004-05-26 |
| 发明（设计）人： | W·内夫;K·博格曼;O·罗西尔;J·潘克特 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍弗实用研究促进协会;皇家菲利浦电子有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 程天正;张志醒 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 借助气体放电产生远紫外线辐射/软X射线辐射的方法，尤其被用于EUV光刻术，其中，在放电室(11)内给两个电极施加高电压，在所述的两个电极之间，根据在帕申曲线的左支路上进行的放电工作而在两个同轴电极开孔(12，13)的区域内提供一种具有预定气压的气体填充，在该气体填充当中通过输入能量而构造发出辐射的等离子体(10)，其特征在于：所述的等离子体(10)在所述的电极开孔(12，13)的区域内借助气体填充的压力变化而被偏移。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 产生 紫外线 辐射 射线 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.用于借助气体放电产生远紫外线辐射/软X射线辐射的方法，尤其被用于EUV光刻术，其中，在放电室(11)内给两个电极施加高电压，在所述的两个电极之间，根据在帕申曲线的左支路上进行的放电工作而在两个同轴电极开孔(12，13)的区域内提供一种具有预定气压的气体填充，在该气体填充当中通过输入能量而构造发出辐射的等离子体(10)，其特征在于：所述的等离子体(10)在所述的电极开孔(12，13)的区域内借助气体填充的压力梯度而被偏移和/或成形。
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