[发明专利]具有改进了的吸收层的远紫外线掩模

摘要

本发明公开了一种具有一定厚度的改进了的吸收层的EUV掩模，此吸收层由金属和非金属组成，其中金属对非金属的比率在整个改进了的吸收层的厚度内改变，并公开了这种EUV掩模的制造方法。

主权项

1.一种方法，它包含：提供衬底；在所述衬底上形成镜面，所述镜面在一定波长下是反射性的；在所述镜面上形成改进了的吸收层，所述改进了的吸收层在所述波长下是吸收性的，所述改进了的吸收层具有一定厚度，所述改进了的吸收层包含金属和非金属，其中所述金属对所述非金属的比率在整个所述厚度内改变；以及清除第一区中的所述改进了的吸收层，而留下第二区中的所述改进了的吸收层。