[发明专利]电气装置制造方法有效
申请号: | 02808793.3 | 申请日: | 2002-02-15 |
公开(公告)号: | CN1505835A | 公开(公告)日: | 2004-06-16 |
发明(设计)人: | 熊仓博之 | 申请(专利权)人: | 索尼化学株式会社 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 刘宗杰;叶恺东 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在本发明的电气装置1的制造方法中,由于将粘结剂12与柔性布线板13一起加热到第一加热温度,在粘度充分降低后,进行半导体芯片11的对位,所以在半导体芯片11被装到粘结剂12上时,没有卷入空气。另外,在正式压焊时,由于粘结剂12被加热到比第一加热温度高的第二加热温度,粘结剂12的粘度增高,所以残留的空洞与多余的粘结剂12一起被挤出。从而,在粘结剂12中空洞消失,得到导通可靠性高的电气装置1。 | ||
搜索关键词: | 电气 装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种电气装置制造方法,它是具有以基板的连接端子与半导体芯片的连接端子互相相向的方式进行对位,将上述半导体芯片压到配置于上述基板上的粘结剂上,对上述半导体芯片一边挤压,一边加热,使上述连接端子彼此之间接触的粘结工序的电气装置制造方法,其特征在于:上述粘结工序具有在将上述粘结剂加热到第一温度的状态下将上述半导体芯片压到上述粘结剂上的暂时压焊工序;以及对上述半导体芯片一边加压,一边将上述粘结剂加热到比上述第一温度高的第二温度的正式压焊工序。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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