[发明专利]具有光学和涡流监视的集成结束点检测系统无效
| 申请号： | 02809135.3 | 申请日： | 2002-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN1505554A | 公开（公告）日： | 2004-06-16 |
| 发明（设计）人： | B·A·什韦代克;M·比朗哥;N·约翰逊 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B49/02;B24B49/10;B24B49/12 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种化学机械抛光设备(20)和方法，其可使用涡流监视系统(40)和光学监视系统(140)。来自监视系统的信号可以在输出线上组合并被计算机提取。可以计算抛光垫(30)的厚度。涡流监视系统(40)和光学监视系统(140)可测量衬底上的基本上相同的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 光学 涡流 监视 集成 结束 检测 系统 | ||
【主权项】：
1、一种用于化学机械抛光的设备，包括：支撑抛光表面的台板；设置在台板中以便产生第一信号的涡流监视系统；设置在台板中以便产生第二信号的光学监视系统；在台板中的电路，其将第一和第二信号合并成输出线上的第三信号；和用于接收输出线上的第三信号并提取第一和第二信号的计算机。
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