[发明专利]具有至少一个压电元件的机电式传感器无效

专利信息
申请号: 02809171.X 申请日: 2002-05-14
公开(公告)号: CN1505844A 公开(公告)日: 2004-06-16
发明(设计)人: 谢尔盖·洛帕京;迪特马尔·比格尔;卡尔-彼得·豪普特沃格尔 申请(专利权)人: 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
主分类号: H01L41/047 分类号: H01L41/047
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人: 武玉琴;顾红霞
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 一种机电式传感器,该机电式传感器具有至少一个压电元件(1、13、33),该压电元件具有其上设置有第一电极(3、15、17)的第一表面,该机电式传感器还具有至少一个接触片(5、29、31),压电元件(1、13、33)通过该接触片被电气地连接,其中因为接触片(5、29、31)与第一电极(3、15、17)直接地相接触,因此压电元件(1、13、33)具有非常高的接触可靠性,并具有至少一个凹陷(7、25、27、39),粘合剂(9)被设置到该凹陷中,接触片(5、29、31)通过该粘合剂与电极(3、15、17)相连接。
搜索关键词: 具有 至少 一个 压电 元件 机电 传感器
【主权项】:
1.一种机电式传感器,其具有至少一个压电元件(1、13、33),该压电元件具有其上设置有第一电极(3、15、17)的第一表面;以及至少一个接触片(5、29、31),压电元件(1、13、33)通过该接触片电连接,该接触片直接与第一电极(3、15、17)相接触,且该接触片至少具有一个凹陷(7、25、27、39),粘合剂(9)被设置到该凹陷中,接触片(5、29、31)通过该粘合剂与电极(3、15、17)相连接。
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