[发明专利]辐射敏感的树脂组合物有效
| 申请号： | 02810029.8 | 申请日： | 2002-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN1509424A | 公开（公告）日： | 2004-06-30 |
| 发明（设计）人： | 岩永伸一郎;岩本聪;木村徹;西村洋子;西川耕二 | 申请（专利权）人： | 捷时雅株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;H01L21/288;H05K3/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 周承泽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种辐射敏感树脂组合物，该组合物包含：(A)具有不饱和基团的碱溶性树脂，(B)具有至少一个烯键不饱和双键的化合物和(C)辐射诱导的自由基聚合反应引发剂，其中：具有不饱和基团的碱溶性树脂(A)可通过下面反应获得：100重量份共聚物与0.1－20重量份(d)具有环氧基团的可自由基聚合化合物反应，所述共聚物包含下列单元：1－40重量％来自(a)具有羧基的可自由基聚合化合物的结构单元，和1－50重量％具有酚羟基的结构单元，所述结构单元来自(b－1)具有酚羟基的可自由基聚合化合物或(b－2)具有聚合反应后可转化为酚羟基的官能团的可自由基聚合化物，来源另一可自由基聚合化合物(c)的所述共聚物的其他结构单元。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射 敏感 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种辐射敏感树脂组合物，该组合物包含：(A)具有不饱和基团的碱溶性树脂，(B)具有至少一个烯键不饱和双键的化合物和(C)辐射诱导的自由基聚合反应引发剂，其中：具有不饱和基团的碱溶性树脂(A)可通过下面反应获得：100重量份共聚物与0.1-20重量份(d)具有环氧基团的可自由基聚合化合物反应，所述共聚物包含下列单元：1-40重量％来自(a)具有羧基的可自由基聚合化合物的结构单元，和1-50重量％具有酚羟基的结构单元，所述结构单元来自(b-1)具有酚羟基的可自由基聚合化合物或(b-2)具有聚合反应后可转化为酚羟基的官能团的可自由基聚合化合物，来自除化合物(a)、(b-1)、(b-2)和上面化合物(d)外的可自由基聚合化合物(c)的所述共聚物的其他结构单元。
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