[发明专利]降低制造过程中表面张力的衬底制备设备和方法

摘要

本发明提供可降低制造过程中表面张力的衬底制备方法和系统。在一实例中，衬底制备系统包括一带钩爪的夹具，用来在边缘夹持衬底。该夹具是中空的，以便可同时到达衬底的工作面和背面两个面，而且夹具能使衬底旋转。这个系统包含一些处于衬底表面上方的分配臂。分配臂能从衬底表面的中心区移至周边，且每个分配臂包括一对供应线，用来将流体输送至衬底表面的上方。一个连接器把上分配臂和下分配臂相连，使得两分配臂在衬底中心区和周边之间同步移动，并在衬底的相对两面上保持对齐。

主权项

1.一种制备衬底的系统，包括：(a)一带钩爪的夹具，用来在边缘夹持衬底，该夹具配置成使衬底旋转；(b)第一分配臂，它处于衬底工作面的附近，能在衬底工作面的中心区和周边边缘之间移动，还有一对供应线，用于将流体输送至衬底工作面的上方；(c)第二分配臂，它处于衬底背面的附近，能在衬底背面的中心区和周边边缘之间移动，还有一对供应线，用于将流体输送至衬底背面的上方；和(d)喷雾罩，它围绕着夹具内的衬底，并配有一滑动门，当门处于开启位置时，为将衬底插入夹具的钩爪和从中取出提供入口。