[发明专利]受控流体定比率控制的方法和装置无效

专利信息
申请号: 02810484.6 申请日: 2002-05-23
公开(公告)号: CN1533523A 公开(公告)日: 2004-09-29
发明(设计)人: 约翰·M·卢尔;威廉·S·华伦蒂尼 申请(专利权)人: 成套设备公司
主分类号: G05D7/06 分类号: G05D7/06;C23C16/00
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 过晓东
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 流体流量控制系统包括一个接收受控流体的入口和多个流体出口。多个流体出口包括一次流体出口和至少一个二次流体出口。一次流体出口提供一次预设定受控流体流量,至少一个二次流体出口提供受控流体的剩余部分。在此实施方案中,控制系统包括压力传感器,一次、二次乘法器,以及一次、二次流量控制器。一次乘法器将压力传感器测得的压力信号与一次设定点相乘来控制一次流量控制器,该控制器提供受控流体的一次预设定部分。二次乘法器将压力传感器测得的压力信号与一次设定点相乘来控制二次流量控制器,该控制器提供受控流体的剩余部分。
搜索关键词: 受控 流体 比率 控制 方法 装置
【主权项】:
1.一种流体流量控制系统,包括:流体入口,其接收受控流体;以及多路受控流体出口,多路受控流体出口包括第一流体出口和至少一个第二流体出口,该第一流体出口提供第一预设置的受控流体流量,至少一个第二流体出口提供受控流体的剩余流量。
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