[发明专利]具有长期稳定性的高灵敏度压力传感器无效
| 申请号： | 02810653.9 | 申请日： | 2002-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN1511252A | 公开（公告）日： | 2004-07-07 |
| 发明（设计）人： | Y·戈克费尔德 | 申请（专利权）人： | 帕纳梅特里克斯公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳;梁永 |
| 地址： | 美国麻*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 具有长期稳定性的高灵敏度压力传感器，包括带有第一和第二室的机架，分隔第一和第二室的膜片(20)，位于第一室(16)内并和该膜片隔开从而与之形成第一电容器的第一电极，和位于第二室(18)内并和该膜片隔开从而与之形成第二电容器的第二电极。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 长期 稳定性 灵敏度 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种具有长期稳定性的高灵敏度压力传感器，包含：包括第一和第二室的机架；分隔第一和第二室的膜片；第一电极，位于第一室内，并和该膜片的一面隔开从而与之形成第一电容器；第二电极，位于第二室内，并和该膜片的另一面隔开从而与之形成第二电容器；测量电路，连接该第一和第二电容器，通过检测该第一和第二电容器之间的电容量差来测量膜片位移；和补偿电路，用来对该膜片施加电场作为补偿作用力，减少该第一电极和该膜片之间的电压差并增加该第二电极和该膜片之间的电压差，从而提供长期稳定性。
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