[发明专利]可调节力作用空气台板与主轴系统及其使用方法无效
| 申请号： | 02811065.X | 申请日： | 2002-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1514760A | 公开（公告）日： | 2004-07-21 |
| 发明（设计）人： | M·A·萨尔达纳;A·A·奥夫查兹 | 申请（专利权）人： | 兰姆研究有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B49/00;B24B21/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京;章社杲 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了可调台板，该可调台板(122)包括具有顶部区与底部区的台板主体。该台板主体定位于CMP系统(100)的直线抛光垫(18)下。此台板主体在其顶部区与一空气轴承结合，此空气轴承(124)构造成能给直线抛光垫下侧施加空气压力。有一组轴承(132)与台板主体的底部区连接，以便能使上述顶部区根据施加的空气压力进行移近与移离直线抛光垫下侧的垂直运动。所施加的空气压力形成为可将可控制力作用于直线抛光垫下侧。控制此力以能满足要求的过程参数，而支座(102)简单地将晶片移动到直线抛光垫之上。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 力作 空气 主轴 系统 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械平整(CMP)系统，此系统具有一抛光垫、一晶片支座和一可调台板，所述可调台板包括：一台板主体；结合于上述台板主体中用来对抛光垫下侧施加空气压力的一空气轴承；一组连接到台板主体的轴承，以便使台板主体能移近和移离抛光垫下侧；与此台板主体连接的载荷传感器，此载荷传感器构造成输出一指明拟施加到抛光垫下侧的力的负荷信号；以及用以将空气流施加给此空气轴承的一空气源，空气流量则可根据施加到抛光垫下侧的力的变化而调节。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于兰姆研究有限公司，未经兰姆研究有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02811065.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
