[发明专利]利用拉伸应变调节微机电谐振器谐振频率的方法和设备及其应用有效
| 申请号： | 02811246.6 | 申请日： | 2002-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN1513228A | 公开（公告）日： | 2004-07-14 |
| 发明（设计）人： | 庆·马;安德鲁·伯林 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24 |
| 代理公司： | 北京东方亿思专利代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于改变谐振器梁的谐振频率的方法。该方法包括首先制造具有第一端和第二端的谐振器梁。该谐振器梁通过第一端和第二端被悬置在衬底的上方。谐振器梁的至少一端连接到致动器，该致动器向谐振器梁施加致动力以向所述谐振器梁上施加拉伸应变或者压缩应变。通过改变致动力的量，可以调整谐振器梁的谐振频率。另外，通过改变致动力的大小和方向，谐振器梁可以用作温度传感器或者温度补偿谐振器。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 拉伸 应变 调节 微机 谐振器 谐振 频率 方法 设备 及其 应用 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：制造具有第一端和第二端的谐振器梁，所述谐振器梁通过所述第一端和所述第二端悬置在衬底上方，所述谐振器梁具有连接到致动器的第一端；以及利用所述致动器向所述谐振器梁施加致动力以向所述谐振器梁上施加应变。
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