[发明专利]用于组合式加热和冷却设备的加热部件以及其加热方法无效
| 申请号： | 02811405.1 | 申请日： | 2002-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN1513107A | 公开（公告）日： | 2004-07-14 |
| 发明（设计）人： | 纳塔拉詹·拉马南;詹姆斯·B·西姆斯 | 申请（专利权）人： | FSI国际公司 |
| 主分类号： | F26B19/00 | 分类号： | F26B19/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 郭小军 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 加热部件和有关方法，用来处理基底(13)例如微电子器件，加热部件包括一个导热层(20)，导热层制备成具有上好平面度，而且还具有有利于快速、灵活而且均衡地进行热传递的热传递特性，该导热层优选采用陶瓷材料构成。该加热部件包括一个多层加热元件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 组合式 热和 冷却 设备 加热 部件 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种低热质量加热部件，包括一个导热层，该导热层具有一个平面度小于0.01英寸的支撑表面，该导热层具有一个与加热元件进行热接触的相对表面。
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