[发明专利]掺锑的金属氧化物的化学气相沉积

摘要

玻璃上的掺锑的金属氧化物涂层，优选氧化锡涂层，其制备方法是提供一种均匀的气化反应物的混合物，它包含有机锡化合物和有机锑化合物，水和氧，然后将这反应物之混合物传送到热玻璃板的表面上，这些化合物在此发生反应，从而形成掺锑的金属氧化物涂层，优选氧化锡涂层。按照本发明形成的掺锑的金属氧化物涂层，优选氧化锡涂层,其显示出有着改善的玻璃涂层表面的厚度均匀性，以及提高的涂布/制造效率。

主权项

1.一种化学气相沉积法，它将掺锑的金属氧化物涂层涂布到热玻璃基质表面上，它包含：a)提供一块热玻璃基质，包括一个在其上面要被沉积一层掺锑的金属氧化物涂层的表面；b)提供一种均匀的气化反应物的混合物，它包含金属化合物，含氧化合物，水和有机锑化合物，这种有机锑化合物在温度低于550°F的条件下将不会与所述含氧化合物或水发生预加反应；c)将气化反应物的混合物传送到热玻璃基质的表面上，然后使这混合物起反应，以便使掺锑的金属氧化物的涂层沉积在热玻璃基质的表面上；和d)使这涂膜玻璃基质冷却到环境温度。